PulsPlasma CVD покрытия

 

 

 

Описание процесса


Еще одно поле для использования открывается благодаря комбинации PulsPlasma®  - азотирования с плазменными процессами нанесения CVD покрытий. Благодаря образованному ранее азотированному слою, дополнительное CVD покрытие позволяет получить экстремальные значения твердости, износостойкости. В результате такой обработки обычно значительно повышается стойкость режущего инструмента к износу.
В качестве основного металлического элемента для формирования покрытия обчно используют Ti.

В качестве источника Ti применяется легко летучее соединение TiCl4. В зависимости от желаемого результата применяются азото- или углеродосодержащие газы, для получения слоев из нитридов (TiN) или карбидов (TiC) титана или их комбинацию Ti[C,N].

При PA CVD обработке упрощенно протекают следующие химические реакции:

TiCl4 + 2 H2 + 0,5 N2 = TiN + 4 HCl
TiCl4 + 2 H2 + CH4 = TiC + 4 HCl

При высокотемпературных CVD технологиях, химическая реакция возможна при высокой температуре от 900 до 1000 °C. В противоположность этому процессу CVD, при PulsPlasma® получение реакционно способной газовой смеси производится активизацией плазмы и разложением. Вследствие этого температуры покрытия могут значительно опускаться, примерно вплоть до 500 °C. Это влечет за собой, что покрытые части не должны подвергаться затем термической обработке (закалка).


Применение


Режущий инструмент из твердого сплава с помощью покрытия CVD получает существенное повышение прочности.

Комбинация процессов азотирования с последующим нанесением слоев CVD значительно повышает прочность конструктивных элементов. С одной стороны, это вызывает улучшенную прочность прилипания твердого слоя и одновременно повышает несущую способность основного материала, благодаря предварительному азотированию без образования связующего слоя.


Инструмент :
  • Режущие пластины

     =>     

Твердый сплав, быстрорежущая сталь
  • Фрезы

     =>     

быстрорежущая сталь
  • Штампы

     =>     

быстрорежущая сталь
  • Пресс-формы

     =>     

Стали для холодной штамповки


Особенности:
  • Коробления ?

     =>     

незначительные, т.к. температуры обработки могут быть сильно снижены
  • Дальнейшая обработка ?

     =>     

нет, т.к. коробления и увеличение шероховатости незначительны, т.о. могут обрабатываться уже готовые детали
  • Равномерность ?

     =>     

очень хорошая, т.к. очень высокая температурная равномерность
  • Перегрев ?

     =>     

Нагрев режущих кромок при PulsPlasma® может четко контролироваться, поэтому риск перегрева существенно снижен.
  • Несущая способность ?

     =>     

Благодаря предварительному PulsPlasma® азотированию получают хорошую несущую подложку из азотированного слоя для CVD слоя.
  • Частичное азотирование ?

     =>     

надежно, с помощью паст или металлических экранов
  • Дальнейшая очистка ?

     =>     

не требуется